Bei Saintech Ionenquellen handelt es sich um sogenannte "End Hall" Ionenquellen; gitterlose Ionenquellen. Die aus der Heizwendel austretenden Elektronen werden in Richtung der Anode beschleunigt. Ein hinter der Anode befindlicher Permantmagnet hält die Elektronen im inneren Bereich der Ionenquelle, in den Gas eingelassen wird, und erhöht dadurch die Ionisierungswahrscheinlichkeit und damit die Effizienz der Ionenquelle. Ein Plasma zündet.
Die so entstehenden Ionen werden aus dem Anodenbereich hinausbeschleunigt und bewegen sich zusammen mit Elektronen aus dem Filament in Richtung des gegenüber liegenden Substrats.
Vorteile von gitterlosen gegenüber Ionenquellen mit Gitter (Kaufmann Quellen)
- geringe Ionenenergien im Bereich 50-250eV
- sehr hohe Ionenstromdichten bis 3mA/cm²
- breite Verteilung
- kein Neutralisierer notwendig
- geringe Wartungskosten
Kaufmann Ionenquellen
Besondere Eigenschaften der Saintech Ionenquellen
Ionenstrom-Monitor
