Elektronenstrahlverdampfer Modell 211 und UHV-Version 218
Klein und kompakt, Napf-Größen bis 15cm³
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maximal 6kW (materialabhängig) Leistung, Hochspannungsbereich -6kV bis -10kV
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Kompaktes Design ermöglicht den Einbau in kleine F&E Anlagen
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Bei der HV Version 211 können die Tiegel des Elektronenstrahlverdampfers leicht ausgetauscht werden, Modell 218 besitzt den gleichen Grundkörper, der Tiegel ist eingelötet und nicht austauschbar, alle Dichtungen sind aus Metall
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Die Ablenkspule ist in ein Edelstahlgehäuse eingebaut.
Elektronenstrahlverdampfer Modell 272 und UHV-Version 258
Hohe Leistung für Produktionsanwendungen
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Napf-Größen bis 100cm³ für lange Aufdampfzyklen ohne Kammeröffnung.
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maximale Leistung 14kW (materialabhängig) bei -10kV
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ermöglicht sehr hohe Aufdampfraten, z.B. bei Aluminium. Der Verdampfer ist daher ideal für die Herstellung dicker Schichten (1um oder mehr)
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ebenfalls sehr gut geeignet für das Verdampfen großer Mengen von Dielektrika bei kleinen Leistungen
Auswahlmöglichkeiten
| HV-Verdampfer | HV-Verdampfer | UHV-Verdampfer | UHV-Verdampfer | Napfgröße |
|---|---|---|---|---|
| Modell 211 | Modell 272 | Modell 218 | Modell 258 | |
| 211-05 | 218-05 | 1,5cm³ | ||
| 211-04 | 218-04 | 4cm³ | ||
| 211-07 | 272-01 | 218-07 | 258-01 | 7cm³ |
| 211-15 | 272-02 | 218-15 | 258-02 | 15cm³ |
| 272-03 | 258-03 | 25cm³ | ||
| 272-30 | 258-30 | 30cm³ | ||
| 272-04 | 258-04 | 40cm³ | ||
| 272-05 | 258-05 | 100cm³ |