Seit über 20 Jahren werden Telemark Elektronenstrahlverdampfer weltweit in Produktion und Forschung eingesetzt. Elektronenstrahlverdampfer von Telemark zeichnen sich durch eine praxistaugliche Konstruktion, Langlebigkeit und ein sehr gutes Preis-Leistungsverhältnis aus.
Eigenschaften:
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alle Telemark Elektronenstrahlverdampfer sind mit 270°-Strahlablenkung konstruiert (Heizwendel ist gegen Ionenbeschuss und Materialspritzer geschützt)
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patentierte Wasserkühlung des Tiegels für lange Lebensdauer und hohe Leistung
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robuste, praxisorientierte Konstruktion
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unkomplizierter Betrieb und Wartung der Elektronenstrahlverdampfer
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Permanentmagnet für Grundablenkung des Strahls erhöht die Betriebssicherheit
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langzeitstabile Emittereinheit mit hoher Lebensdauer
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einfacher Austausch der Heizwendel außerhalb der Aufdampfanlage
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Antrieb des Drehtiegels seitlich oder von unten
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koaxiale Wasserzuführung bei den Elektronenstrahlverdampfern 246/266/276/297 eliminiert die dynamische Wasser-Vakuum Dichtung
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der Drehtiegel ist zweiteilig, das Oberteil mit den Näpfen lässt sich sehr einfach zur Reinigung oder zum Tiegelwechsel abnehmen
Service und Lieferung:
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Die Elektronenstrahlverdampfer werden mit einem Ersatzteilkit als Erstausstattung ausgeliefert
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alle wichtigen Ersatzteile werden bei PST immer lagerhaltig geführt
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weltweites Servicenetz
Optionen:
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"Self-Sealing Cover": eine selbst-dichtende Tiegel-Abdeckplatte zum Verhindern des Überdampfens in benachbarte Näpfe
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"Arc-Less“: Diese Option ermöglicht den Einsatz des Verdampfers bei erhöhten Drücken
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Magnetflüssigkeits-Drehdurchführung für "Quasi-UHV"-Anwendungen (bis 10-9 mbar)
Diese Optionen können bei den meisten Verdampfern mitbestellt oder auch später nachgerüstet werden.
Bei Telemark-Elektronenstrahlverdampfern ist das Magnetfeld so optimiert, dass der Strahl senkrecht auf das Verdampfungsgut auftrifft und seine Position bei Veränderung des Befüllungsniveaus nicht verändert. Die Energieverteilung über den Tiegel wird dadurch optimiert, es entstehen weniger Spritzer aus der Schmelze, die Gleichförmigkeit und Reproduzierbarkeit auf dem Substrat wird erhöht.
Eine Auswahl der Standartkonfigurationen finden Sie in unserem Downloadbereich.
Weitere Tiegelkonfigurationen sind auf Anfrage erhältlich.
Verdampfer mit spezieller magnetflüssigkeitsgedichteter Drehdurchführung für Drücke bis 10-9 mbar erhältlich
Spezielle Mehrtiegelverdampfer
Das Modell 294 (297 mit koaxialer Kühlung) ist ein speziell für die Produktion entwickelter Verdampfer mit größerem Materialvolumen. Zusammen mit der „Arc-Less“ Option ist die Quelle ideal für ionenunterstützte optische Beschichtungsprozesse, da sie bei erhöhtem Druck ohne Hochspannungsüberschläge arbeiten kann. Außerdem kann sie mit einer selbstdichtenden Abdeckplatte ausgerüstet werden und stellt somit den idealen Verdampfer für Lift-off Prozesse dar. Für Gold oder andere flüchtige Materialien wird das Überdampfen in benachbarte Näpfe verhindert.
Das Modell 295 ist der Telemark-Mehrtiegel-Verdampfer mit dem größten Volumen. Er kann z.B. mit sechs 100cm³, zehn 40cm³ oder sechzehn 15cm³ Näpfen geliefert werden. Auch ein Ringtiegel mit 1486cm³ ist möglich. Der Verdampfer wurde speziell für dicke Schichten und große Verdampfungsabstände entwickelt.
Einen Prospekt über unsere Elektronenstrahlverdampfer erhalten Sie im Downloadbereich.